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无尘室环境监测
 

概述
无尘室是半导体生产的关键设施。不对生产过程进行严格的控制将产生有缺陷的芯片并且浪费宝贵的资源。对无尘室环境的监控包括管理空气过滤系统、控制
HVAC 系统以及监测室内的温度、湿度、压力、气体成分和其它参数。为半导体制造商工作的现场工程师希望能够连续简单地使用 PC-based 无尘室环境监控系统。这样的系统应该能够收集数据进行分析,确保制造过程在可接受的参数下进行,从而防止问题的发生。系统应该确保加工过程符合半导体工业标准 - 一个非常重要的因素。ADAM-4000 系列远程数据采集和控制硬件以及研华软件构成了一个全面的无尘室监测系统的核心。它们提供了一个经济的、易于实施的网络解决方案。

无尘室环境监测

 


系统要求
半导体制造商需要灵活、易于使用的系统。操作员需要获取和分析整个工厂的信息,这些信息通过轮流查询询遍布工厂的远程传感器而得到。他们想将一个新的系统增加到现有的加工过程和设备中,而不干扰或修改已经建设好的控制系统。即使是主机断开或关闭,系统应能够继续运行。自然地,制造商想要一个低成本的解决方案,并且在理想状况下应该是一个总监管系统。

 


系统体系结构
研华开发了一个基于
RS-4852 线)多点网络的解决方案。为保护无尘室,系统停止运行时必须有效可靠地监视过滤器风扇。ADAM-4050 数字量输入输出模块可以很好地执行这项重要任务。ADAM-4017 具有 8 路模拟量输入处理能力,能够精确地监视空气温度、压力和湿度。整个 RS-485 网络连接到一个 ADAM-4500 PC-based 通信控制器,它可以以独立模式运行系统,即使在主机断开或关闭的情况下。基于 Windows VisiDAQ 3.1 MMI 软件能够以其功能强大的、用户友好的人机界面使自动化系统更加完善。

 


结论
集成系统能够提供连续不断的监视。能够对数据进行短期独立的监控。
VisiDAQ 3.1 支持简易监测的自动化报表生成。IC 制造商利用其热插拔功能可以容易地安装系统网络。
 
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